三軸納米位移臺控制系統
基于三軸壓電納米位移臺的激光3D加工系統
天津納微機器人科技有限公司成立
壓電驅動納米定位平臺
壓電驅動納米定位平臺是指以壓電陶瓷驅動器作為驅動元件,以柔性鉸鏈機構為支撐導向的微位移運動平臺,是實現動態納米控制不可或缺的關鍵部分。在微操作器,磁盤驅動、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米
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